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磨料在cmp作用在拋光液中
來(lái)源：www.cdtclq.com | 發(fā)布時(shí)間：2022年11月29日上海鈰基拋光液供應(yīng)商根據(jù)磨料成分，拋光液一般分為單磨料拋光液.混合磨料拋光液和復(fù)合磨料拋光液研磨劑在cmp拋光過(guò)程中的功能是：
1.機(jī)械動(dòng)作的實(shí)施者起到機(jī)械研磨的作用；
2.材料傳輸?shù)墓δ懿粌H是在拋光墊和拋光材料之間傳輸新鮮的漿料，還可以去除材料表面的反應(yīng)物，泄漏材料的新表面，進(jìn)一步減少反應(yīng)。
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